Ионно-плазменная обработка поверхности контактов герконов: исследования методом масс-спектрометрии вторичных ионов

Ионно-плазменная обработка поверхности контактов герконов: исследования методом масс-спектрометрии вторичных ионов

02.10.2013

Времяпролетный масс-спектрометр вторичных ионов TOF.SIMS-5, работающий с импульсным аналитическим пучком ионов Bi+ с энергией 25 кэВ и распыляющим пучком ионов Cs+ с энергией 2 кэВ, использовался для изучения состава приповерхностных слоёв контактов из железно-никелевого сплава (пермаллоя) после их обработки в импульсной азотной плазме непосредственно в герметизированных приборах. В области перекрытия контактов (рабочей области) было обнаружено образование окси-нитридного покрытия толщиной 20-25 нм. Установлено, что это покрытие имеет диффузионный характер и его происхождение связано преимущественно с процессами ионного азотирования.


← К списку публикаций

 

Система менеджмента качества сертифицирована ISO 9001:2015

В составе холдинга Росэлектроника

«Горячая линия» - система сбора информации для борьбы с мошенничеством, хищениями и коррупцией

Новости

03.08.2018

Анонс празднования 55-летия завода
В сентябре 2018 года Рязанский завод металлокерамических приборов готовится отметить свое 55-летие!

23.04.2018

"Неделя без турникетов"
С 16 по 20 апреля 2018 года в АО «Рязанский завод металлокерамических приборов» проведена акция «Неделя без турникетов»