Ионно-плазменная обработка поверхности контактов герконов: исследования методом масс-спектрометрии вторичных ионов

Ионно-плазменная обработка поверхности контактов герконов: исследования методом масс-спектрометрии вторичных ионов

02.10.2013

Времяпролетный масс-спектрометр вторичных ионов TOF.SIMS-5, работающий с импульсным аналитическим пучком ионов Bi+ с энергией 25 кэВ и распыляющим пучком ионов Cs+ с энергией 2 кэВ, использовался для изучения состава приповерхностных слоёв контактов из железно-никелевого сплава (пермаллоя) после их обработки в импульсной азотной плазме непосредственно в герметизированных приборах. В области перекрытия контактов (рабочей области) было обнаружено образование окси-нитридного покрытия толщиной 20-25 нм. Установлено, что это покрытие имеет диффузионный характер и его происхождение связано преимущественно с процессами ионного азотирования.


← К списку публикаций

 

Система менеджмента качества сертифицирована ISO 9001:2015

В составе холдинга Росэлектроника

«Горячая линия» - система сбора информации для борьбы с мошенничеством, хищениями и коррупцией

Новости

05.12.2018

Успейте купить по выгодной цене!
АО «РЗМКП» проводит распродажу складских остатков герконов и солнечных модулей. Информацию по ассортименту и актуальным ценам можно получить на нашем сайте или по телефонам (4912) 44-19-70; (4912) 24-97-89.

30.11.2018

АО «РЗМКП» вошел в число лучших экспортеров Рязани
29 ноября в рамках делового форума «Дни международного бизнеса в Рязанской области» состоялось награждение лучших экспортеров региона